球形硅微粉的生产工艺和设备

球形硅微粉，是指颗粒个体呈球形，主要成分为二氧化硅的无定形石英粉体材料，其生产原料主要是角形硅微粉，生产方法主要有火焰熔融法、等离子加热炉法、化学合成法、水解法等。

目前，国内主要利用火焰熔融法来生产球形硅微粉。该技术的关键是加热装置要求有稳定的温度场、易于调节温度范围以及不要对硅微粉造成二次污染。

高频等离子体熔融法生产球形硅微粉的原理与工艺与火焰熔融法类似，主要是将高温热源变为等离子体发生器，其温度范围适中、控制平稳、产量高，可达到较高球化率，因而是一种较合适的生产方法。
水解法是把液体SiCl₄以恒定的速度加入到添加了不同分散剂的去离子水中，并同时用石英棒高速搅拌水解产物，将得到的水解产物经陈化、洗涤、过滤后，在100℃-200℃的恒温箱中进行干燥脱水至恒重后，转移至高温烧结炉中，在不同温度下进行高温烧结脱羟和晶形转换，经粉磨、筛分后即得到所需粒径的高纯球形硅微粉。
据了解，球形粉体生产技术包括：（1）燃爆法，制备微米级产品；（2）火焰法，制备亚微米级产品，用该法制备的量最大；（3）液相法，用于生产不允许有大颗粒、有严格技术指标控制的高附加值球硅球铝液相合成产品，可用于M8及以上覆铜板中。